晶圓傳輸
大氣晶圓傳輸機(jī)械手(下文簡稱“機(jī)械手”)適用于大氣潔凈室環(huán)境,由本體、手臂以及片叉(選配)構(gòu)成,通過吸附、夾持等方式,以及各關(guān)節(jié)的循環(huán)運動實現(xiàn)晶圓的傳輸功能。機(jī)械手的運動分為升降運動(Z軸)、旋轉(zhuǎn)運動(T軸)、手臂伸縮運動(R/W軸)。