大氣晶圓傳輸機械手（下文簡稱“機械手”）適用于大氣潔凈室環境，由本體、手臂以及片叉（選配）構成，通過吸附、夾持等方式，以及各關節的循環運動實現晶圓的傳輸功能。機械手的運動分為升降運動（Z軸）、旋轉運動（T軸）、手臂伸縮運動（R/W軸）。