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特征
1699406847913470.png可對應(yīng)標準FOUP 和 Auto Door FOSB  
1699406847913470.png獨創(chuàng)的開門系統(tǒng)和精密的動作控制，實現(xiàn)高潔凈度性能



選配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngInfo pad pin 和 Lockout pin
1699406847913470.png外部I/O對應(yīng)
1699406847913470.png采用TCP/IP通信
1699406847913470.png指示燈可定制
1699406847913470.png8" / 12" 晶圓
1699406847913470.png可對應(yīng)RF-ID Reader









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