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晶圓傳輸
特征
可對應標準FOUP 和 Auto Door FOSB
獨創的開門系統和精密的動作控制,實現高潔凈度性能
選配
E84
Info pad pin 和 Lockout pin
外部I/O對應
采用TCP/IP通信
指示燈可定制
200mm/300mm對應
可對應Barcode Reader、 RF-ID Reader
1
/
3
SPECIFICATIONS
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