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EFEM
晶圓傳輸
特征
通過選配2臺Aligner可以達到高Throughput
真空吸附式取放片和邊緣夾持式取放片（可選）
可兼容200/300mm （可選）
OHT、Stocker可對應
選配
E84
OCR
Ionizer
Autoteaching
Teaching pendant
Chemical Filter
可對應Barcode Reader、 RF-ID Reader
1
/
3
SPECIFICATIONS
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