VAG系列運動平臺是XIVI持續多年在高級材料、特有加工技術、精密結構分析與設計領域不斷投入后，專門為幫助當今半導體工業設備制造業實現高精度、高產出率目標而研發的系列平臺。高自主知識產權及精英的研發團隊，能確保我們的企業在迎接未來挑戰時， 始終保持領先的技術能力 。VAG系列運動平臺，非常能滿足在電子及半導體加工、檢測行業極具挑戰的嚴苛要求。

	掃描速度快
	線性編碼器反饋
	整定時間小
	全氣浮及真空預載