VMZT系列平臺(tái)是一款具有四自由度的機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。專為后道曝光機(jī)及晶圓檢測(cè)相關(guān)的要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)計(jì)而設(shè)計(jì)。

	特征
	X、Y采用高剛性，高精度導(dǎo)軌，微米級(jí)運(yùn)行平面度與直線度
	ZT軸 一體化輕薄設(shè)計(jì)，支持360°旋轉(zhuǎn)
	Z軸可以保持原樣